開發(fā)了一種用于 5G 的絕緣材料，該材料使用具有低傳輸損耗的光敏樹脂。我們還實(shí)現(xiàn)了 L/S=5μm/5μm 的超精細(xì)絕緣圖案形成。

【技術(shù)概要】

?

感光性聚酰亞胺樹脂已廣泛用作傳感器基板等電子部件的層間絕緣膜。今后，在將這些電子部件用作數(shù)十GHz以上頻帶的通信設(shè)備的情況下，為了抑制傳輸損耗，要求絕緣膜具有比現(xiàn)在低的介電特性。

昭和電工材料利用自有技術(shù)成功開發(fā)出介電常數(shù)為2.4、介電損耗角正切為0.0018的低介電光敏樹脂。此外，我們還通過光刻技術(shù)實(shí)現(xiàn)了L/S=5μm/5μm的精細(xì)絕緣圖案形成。

?

【這項(xiàng)技術(shù)的特點(diǎn)】

?

降低高頻帶的

傳輸損耗 以往，作為傳感器的層間絕緣膜使用的感光性聚酰亞胺樹脂的介電特性，難以充分抑制高頻帶的傳輸損耗。該公司通過重新審視傳統(tǒng)樹脂的骨架結(jié)構(gòu)并開發(fā)新的精煉技術(shù)，實(shí)現(xiàn)了低介電性能（Dk = 2.4，Df = 0.0018）并將高頻段的傳輸損耗降低了 20%。

?

通過抑制吸水實(shí)現(xiàn)的高靈敏度傳感器

當(dāng)溫濕度傳感器暴露在高濕度環(huán)境中時(shí)，傳感器內(nèi)部的樹脂會(huì)吸收周圍的水分，從而降低其介電性能。這種介電特性的劣化阻礙了電信號(hào)的通過并降低了傳感器的靈敏度。因此，為了提高傳感器的靈敏度，需要吸水率低的樹脂。本次開發(fā)的低介電光敏樹脂是一種用于溫度和濕度傳感器的光敏絕緣材料，因?yàn)樗哂袃?yōu)異的介電性能，可抑制高頻段的傳輸損耗，吸水率低，并保持傳感器的靈敏度。傳感器。適用于 此外，由于可以進(jìn)行精細(xì)圖案化，因此可以應(yīng)用于半導(dǎo)體電子電路的形成。

通過

感光性可以進(jìn)行精細(xì)圖案化 具有感光性，通過曝光和顯影可以進(jìn)行L/S = 4 μm/4 μm、L/S = 5 μm/5 μm的精細(xì)圖案化。

優(yōu)異的柔軟性

與感光性聚酰亞胺樹脂相比，具有優(yōu)異的機(jī)械性能（彈性模量為 0.4 GPa，斷裂伸長(zhǎng)率為 150%，殘余應(yīng)力為 1 或以下）和柔軟性，具有抑制導(dǎo)電和電路畸變的特性。